Mašina za optičko vakuumsko oblaganje sastoji se od vakuumskog sistema, sistema za isparavanje, sistema za hlađenje i električnog sistema. Vakum sistem se sastoji od vakuum rezervoara i izduvnog sistema. Vakum rezervoar je glavno telo mašine za premazivanje, a proces premazivanja se završava u vakuum rezervoaru. Vakumski rezervoar i izduvni sistem povezani su spojnim ventilom. Kako bi se spriječio utjecaj molekula zraka na raspršene ione i poboljšao kvalitet sloja filma, optičke komponente i jonski izvor moraju se tokom rada postaviti u vakuumsko okruženje.
Izduvni sistem se uglavnom sastoji od mehaničke pumpe, Roots pumpe i vakuum pumpe, koja je odgovorna za ispuštanje gasa u vakuum rezervoaru i formiranje vakuumskog okruženja u rezervoaru. Sistem isparavanja se uglavnom odnosi na uređaj za formiranje filma. Postoje mnoge vrste uređaja za formiranje filma u mašini za premazivanje, kao što su otporno grijanje, isparavanje elektronskim pištoljem, magnetronsko raspršivanje, radiofrekventno raspršivanje, ionsko nanošenje, itd.
Mašine za optičko vakuumsko oblaganje nanose tanke filmove na optičke komponente vakuumskim raspršivanjem, modificirajući refleksivnost i propusnost upadne svjetlosti. Da bi se smanjili gubici refleksije na površini komponente i poboljšao kvalitet slike, često se nanosi više slojeva tankih filmova. Nakon oblaganja optičke komponente, svjetlost se reflektira i prenosi više puta na površini višeslojnog filma, formirajući višestruke snopove interferencije. Kontrolom debljine i indeksa prelamanja slojeva filma mogu se postići različite distribucije intenziteta. Ovaj princip se može koristiti za proizvodnju polarizacijskih reflektirajućih filmova, filmova za cijepanje boja, filmova hladnog svjetla i interferentnih filtera kako bi se zadovoljile složenije potrebe.
