Princip rada sa višestrukim strojevima za oblaganje

MAŠINA MULTI-ARC-a stvara visokotemperatursku plazmu kroz višestrukim izvorima luka (4-16), isparava metalni materijal i naslivljuje ga na površini supstrata kako bi se postigao efikasan premaz (uniformnost debljine filma ± 5%). Njegova jezgra vakuumska komora podijeljena je u komoru za premazivanje (vakuumska stupnja manja ili jednaka 10 ^ -3pa) i komoru za pretresanje. Prva osigurava okoliš sa niskim nečistoćom, a potonji se koristi za čišćenje i poliranje podloge za poboljšanje adhezije. Ključni parametri procesa uključuju izvor ARC-a (20-200A), temperatura supstrata (100-300 stepeni) i stopa taloge (1-10nm / s), koji treba dinamički podesiti prema obliku podloge (poput složenih zakrivljenih površina) i materijala (metal / keramika). Pogodan je za scene kao što su optička sočiva protiv refleksije filma i tvrdi premaz alata.