Radni koraci optičkog prevlačenja uključuju više veza. Slede su detaljni radni koraci:
1. Preliminarna priprema
Provjerite stanje mašine:
Provjerite je li optički stroj za oblaganje u normalnom radnom stanju, uključujući da li su napajanje, izvor plina, sustav hlađenja itd. Normalni.
Izvadite nečistoće unutar i oko stroja, posebno ostatke evaporativnog materijala, kako biste osigurali čisto radno okruženje.
Priprema materijala:
Odaberite visokokvalitetne optičke sočine ili druge materijale koji treba obložiti.
Pripremite materijale za isparavanje, poput metalnih ciljeva, kako bi se osiguralo da čistoća i kvaliteta materijala ispunjavaju zahtjeve.
Priprema opreme:
Pripremite potrebnu opremu za oblaganje, poput vakuumskih mjerača debljine filma, vakuumske pumpe i ionske izvore.
Provjerite je li oprema netaknuta da bi se osiguralo normalno.
Priprema okoliša:
Osigurajte da je komora za premazivanje čvrsto zatvorena i nema curenja zraka.
Pripremite alate za čišćenje kao što su tekućina za čišćenje te deionizirane vode, kao i brušenje, dekontaminacija i drugi alati.
2. Predobrada premaza
Poliranje:
Fino poljski optički objektiv za uklanjanje sitnih udubljenja i nečistoće na površini.
Čišćenje:
Koristite posebnu tekućinu za čišćenje i ultrazvučnu opremu za čišćenje za čišćenje optičkih sočiva kako bi se osigurala da je površina čista.
Nakon čišćenja, isperite deioniziranom vodom da biste uklonili zaostale tekućinu za čišćenje.
Vakuumsko grijanje:
Očišćeni objektiv stavite u vakuumsku komoru i zagrijte sočivo električnim grijanjem.
Gas adsorbiran na površini ispari se i ispumpava kako bi se osigurala čistoću okruženja za oblaganje.
3. Operacija premaza
Podesite parametre procesa:
Prema zahtjevima premaza, postavite odgovarajuće parametre procesa kao što su temperatura isparavanja, brzinu isparavanja, vakuumski stupanj itd.
Proces isparavanja:
Dodajte materijal za isparavanje u izvor isparavanja, poput volframovog filamenta.
Uključite izvor isparavanja, izvršite postupak isparavanja i otpustite aktivne atome.
Taloženje filma:
Koristite izvore energije kao što su izvori jona ili greda elektrona u vakuumskoj komori da biste položili isparive atome ili molekule na površini objektiva.
Tokom postupka taloženja, mjerač debljine vakuumskog filma koristi se za nadgledanje debljine filma u stvarnom vremenu kako bi se osiguralo da su zadovoljeni unaprijed određeni zahtjevi.
Pomoćno grijanje:
Tokom postupka taloženja, možda će biti potrebno koristiti pomoćnu tehnologiju grijanja za zagrijavanje površine podloge na temperaturu samokondenzacije filmskog sloja, što se pogoduje kondenzaciji i učvršćivanju filma.
4. Tretman za prevlačenje
Hlađenje:
Kada se proces premaza završi, isključite izvore energije kao što su izvor isparavanja i ion izvora.
Dopustite da se vakuumsko vijeće prirodno ohladi na sobnu temperaturu ili upotrijebite prisilno hlađenje kako biste ubrzali postupak hlađenja.
Izvadite radni komad:
Nakon zračnog tlaka u vakuum komori vraća se u normalan pritisak, otvorite vrata vakuumske komore i izvadite obloženu sočivu.
Čišćenje i pregled:
Očistite obloženi objektiv za uklanjanje nečistoća koje mogu ostati na površini.
Provjerite kvalitetu premaza, uključujući da li je film debljina, ujednačenost, optički performanse itd.
5. Održavanje i njega
Očistite reakcijsku komoru:
Redovno očistite unutrašnjost reakcijskog komore i komponente poput grijaćeg ploča za uklanjanje preostalog materijala i nečistoće isparavanja.
Zamena delova:
Prema upotrebi opreme, redovito zamjenjuju dijelove s jakim nošenjem, poput izvora isparavanja, izvora ionda itd.
Održavanje:
Izvršite sveobuhvatno održavanje opreme, uključujući provjeru je li napajanje, izvor plina, hlađenje itd. Ispravno radi.
Kalibrirajte i ispravite opremu za regulaciju da biste osigurali preciznost i stabilnost premaza.
Gore navedeni su osnovni operativni koraci optičkog stroja za oblaganje. Optički strojevi za oblaganje različitih modela i specifikacija mogu imati različite specifične operacije. Stoga, u stvarnom postupku rada, priručnik za opremu treba strogo slijediti, a treba primijetiti relevantne sigurnosne propise i operativne procedure.
