Mnogi kupci su zbunjeni prilikom kupovinemašine za vakumsko premazivanje. Oni znaju koja vrsta i model mašine za premazivanje im je potrebna, ali ne mogu odrediti koje standarde mašina mora ispuniti da bi se smatrala dobrom kvalitetom i-kvalitetom. Ova konfuzija ih navodi na mnogo zaobilaznih puteva. U nastavku Puyuan Vacuum će pružiti detaljan uvod u osnovne tehničke zahtjeve koje mašina za vakumsko premazivanje mora ispuniti.
Vakuumsko isparavanje, katodna jonizacija, raspršivanje magneta:
1.Struktura vakuumskih cjevovoda i statičkih zaptivnih komponenti u opremi treba da bude u skladu sa GB/T6070.
2.Vakum mjerni mjerači bi trebali biti instalirani na cjevovodima niskog{0}}vakuma i visokog{1}}vakuma i na komori za vakuumsko oblaganje radi mjerenja nivoa vakuuma na svakoj lokaciji. Ako se otkriju smetnje od električnog polja, na mjernom priključku treba postaviti uređaj za zaštitu električnog polja.
3.Ako je glavna pumpa koja se koristi u opremi za PVD premazivanje difuzijska pumpa, na ulaznoj strani pumpe treba instalirati sifon za uljnu paru.
4. Komora za oblaganje opreme za vakuumsko premazivanje treba da bude opremljena prozorom za posmatranje i pregradnim uređajem. Prozor za posmatranje treba da omogući posmatranje radnog statusa izvora taloženja i drugih kritičnih komponenti.
5. Dizajn izvora taloženja ionske ploče bi trebao maksimizirati brzinu ionizacije tokom procesa premazivanja, poboljšati stopu iskorištenja materijala za oblaganje, racionalno uskladiti snagu izvora taloženja i racionalno urediti položaj izvora taloženja unutar vakuumske komore.
6.Uređaj za grijanje treba biti racionalno uređen; općenito, raspored strukture grijača treba osigurati ravnomjeran porast temperature radnog komada koji se obrađuje.
7. Držač obratka treba da bude izolovan od vakuum komore, a dizajn držača radnog komada treba da obezbedi da sloj filma obratka bude ujednačen.
8. Mašine za ionsko vakuumsko oblaganje općenito bi trebale imati negativni prednapon obratka i napajanje za ionsko bombardiranje. Napajanje za jonsko bombardiranje treba da ima uređaj za suzbijanje abnormalnog pražnjenja i održavanje stabilnog rada.
9.Vrijednosti izolacijskog otpora između različitih dijelova vakuumske komore spojenih na različite potencijale moraju biti u skladu sa 4.4.6 GB/T11164-1999.
10. Druge mjere opreza
(1) Temperatura okoline: 10-30 stepeni
(2) Relativna vlažnost: ne veća od 75%
(3) Ulazna temperatura rashladne vode: ne viša od 25 stepeni
(4) Kvalitet rashladne vode: komunalna voda iz slavine ili voda ekvivalentnog kvaliteta.
(5) Napajanje: 380V trofazno 50Hz ili 220V jednofazno-50Hz (u zavisnosti od električnih uređaja koji se koriste); Opseg fluktuacije napona: 342-399V ili 198-231V; Opseg fluktuacije frekvencije: 49-51Hz.
(6) Tlak, temperatura i potrošnja komprimiranog zraka, tekućeg dušika, hladne vode, tople vode itd., koje zahtijeva oprema, treba navesti u uputstvu za upotrebu proizvoda.
(7) Okolina opreme treba da bude čista i da u vazduhu nema prašine ili gasova koji mogu izazvati koroziju električnih komponenti ili drugih metalnih delova, ili provodljivost između metala.
