Mašina za vakuumsko premazivanjeuglavnom se odnosi na tip premaza koji se mora izvesti pod relativno visokim stepenom vakuuma, uključujući mnoge tipove, uključujući vakuumsko ionsko isparavanje, magnetronsko raspršivanje, epitaksiju MBE molekularnim snopom, taloženje PLD laserskim raspršivanjem, itd. Glavna ideja je podijeliti ga na dva tipa: isparavanje i raspršivanje.
Proces gradijenta boje uglavnom koristi opremu za premazivanje magnetronskim raspršivanjem. Trenutno, kućišta gradijentne boje mnogih modela mobilnih telefona kao što su Huawei i Lenovo koriste PVD proces vakuumskog gradijenta premaza.
Magnetronsko raspršivanje je vrsta fizičkog taloženja parom (Physical Vapor Deposition, PVD). Opća metoda raspršivanja može se koristiti za pripremu metala, poluvodiča, izolatora i drugih materijala, a ima prednosti jednostavne opreme, lake kontrole, velike površine premaza i jakog prianjanja.
Metoda magnetronskog raspršivanja razvijena 1970-ih postigla je veliku brzinu, nisku temperaturu i nisko oštećenje. Budući da se -brzina raspršivanja vrši pod niskim pritiskom, stopa jonizacije gasa mora biti efektivno povećana. Magnetronsko raspršivanje uvodi magnetsko polje na površinu ciljne katode i koristi magnetsko polje da ograniči nabijene čestice kako bi povećao gustinu plazme kako bi povećao brzinu raspršivanja.
Mašina za vakuumsko nanošenje magnetnog raspršivanja je najčešće korišćena oprema za premazivanje postojećih proizvoda u vakuumskim uslovima. Kompletna mašina za vakuumsko oblaganje magnetronskim raspršivanjem sastoji se od više delova sistema. Svaki sistem može izvršiti različite funkcije kako bi se postigao konačni premaz visokog{2}}kvaliteta. Komponente premaza za raspršivanje magnetrona uključuju vakuumsku komoru, mehaničku pumpu, sistem za vakuumsko ispitivanje, pumpu za difuziju ulja, vakuumski sistem, kondenzacionu pumpu, sistem za kontrolu formiranja filma itd.
Glavno tijelo mašine za vakuumsko oblaganje magnetronom je vakuumska komora. Veličina vakumske komore određena je prerađenim proizvodima. Veličina magnetronskog premaza za raspršivanje može se prilagoditi. Komora je uglavnom napravljena od nehrđajućeg čelika i mora biti jaka, izdržljiva i bez rđe-. Vakuumska komora za raspršivanje magnetrona ima mnogo spojnih ventila za povezivanje raznih pomoćnih pumpi.
Sistem kontrole formiranja filma magnetronskog raspršivanja može usvojiti različite metode, kao što su fiksno vrijeme nanošenja, vizualna inspekcija, ekstremno praćenje i praćenje kristalnih vibracija. Mašine za vakuumsko premazivanje i metode premazivanja mašina za vakuumsko oblaganje također se dijele na različite procese. Uobičajeno korištene uključuju premaz ionskog isparavanja i premaz za raspršivanje magnetrona. Sloj filma obložen magnetronskim raspršivanjem ima jaku adheziju i visoku čistoću i može istovremeno raspršivati različite materijale različitih sastava.
