Nekoliko običnih jonskih izvora u procesu premaza sa vakuumskim sagradom

Da bi se poboljšalo adheziju, vezanje sile i filmske strukture radnog dijela, mnoge su vakuumske mašine za oblaganje opremljene ionskim izvorima tokom procesa premaza.
Iako postoje mnoge vrste jonskih izvora, njihova svrha nije ništa drugo do internetskog čišćenja, poboljšavajući distribuciju energije i modulaciju pozlaćene površine za povećanje energije reakcijskog plina. Izvor ion može u velikoj mjeri poboljšati čvrstoću lijepljenja između filma i supstrata, a može poboljšati i tvrdoću i otpornost na nošenje filma. Ako je sloj otporan na trošenje elektroplativnog alata uglavnom deblji, a jednoliko debljina debljine nije velika, ion izvor sa većim jonskim strujom i višim energetskim izvorom ili izvorom jona ili izvora anode ili inonski izvor ili son.
Načelo izvora jona anodnog sloja sličan je onom izvora dvorane. Annularni (pravokutni ili kružni) uski prorez dodaje se poboljšanim magnetskom poljem, a radni gas je ioniziran i emitiran na radni komad pod djelovanjem anode. Izvor jona anode može se izvršiti vrlo velikim i dugom, koji je posebno pogodan za elektroplatu velike dijelove kao što su arhitektonsko staklo. Ion struja izvora jona anode je takođe velik. Međutim, ion protok je divergentan, a distribucija energetskog nivoa je previše široka. Općenito je pogodan za velike komade, staklo, otporne na habanje i dekorativne radne komade. Ali u naprednim optičkim premazima nema mnogo aplikacija.
Ovaj vakuumski coater opremljen je sa hodnikom ion izvorom, gdje anoda i jaki aksijalni magnetni polje rade zajedno na ioniziraju procesni plin. Snažna neravnoteža aksijalnog magnetnog polja razdvaja plinske ioni da formiraju jonski snop. Budući da je aksijalno magnetno polje prejako, sa hodničkim izvornim jonskim snopom mora biti dopunjen elektronima za neutralizaciju ionskog protoka. Uobičajeni izvor neutralizacije je volframov filament (katoda).