1. Vakuumska komora
Vakuumska komora je jezgrani dio vakuumske mašine za oblaganje. Njegova glavna funkcija je stvaranje vakuum okruženja i zadržati postupak premaza u stanju vakuuma. Vakuumska komora obično se izrađuje od materijala od nehrđajućeg čelika ili aluminija, sa visokim vakuumskim brtvenim i otporom na koroziju.
2. PUMPNI SISTEM
Sistem pumpe je jedna od ključnih komponenti vakuumskog stroja za oblaganje. Uglavnom je odgovoran za vađenje plina u vakuumskoj komori kako bi vakuumski stupanj postigao potrebnu diplomu. Sistem pumpe obično se sastoji od molekularnih pumpi, mehaničkih pumpi i difuzijskih pumpi. Različite kombinacije pumpi mogu postići različite vakuumske stupnjeve i brzine pumpanja.
3. Uređaj za stezanje supstrata
Uređaj za stezanje supstrata je još jedna važna komponenta vakuumske mašine za oblaganje. Koristi se za popravljanje materijala podloge za oblaganje i kontrolu njegove putanje položaja i pokreta. Uređaj za stezanje supstrata obično se sastoji od rotirajućeg tablice, mehanizma za podizanje i stezaljke za supstrat. Različite stezaljke mogu se prilagoditi podlozima različitih oblika i veličina.
4. Sustav grijanja
Sistem grijanja je potrebna komponenta u mašini za vakuumski premaz. Može zagrijati supstrat i materijal za oblaganje za promociju formiranja premaza i poboljšanje njegove kvalitete. Sistem grijanja obično se sprovodi žicom otpora, elektromagnetsko grijanje, indukcijsko grijanje i druge metode.
5. Izvor premaza
Izvor premaza je posljednja komponenta u mašini za vakuumski premaz. Koristi se za pružanje materijala koji treba presvući, obično uključujući metale, keramiku, silikon i druge materijale. Izvor premaza može položiti materijal na podlogu elektronskim snopom, isparavanjem, prskanjem i drugim metodama za formiranje potrebnog premaza.
Sažetak: Mašina za vakuum za oblaganje je uređaj koji se koristi za proizvodnju visokokvalitetnih premaza, u kojima vakuumska komora, pumpni sistem, uređaj za stezanje supstrata, sustav grijanja i izvor premaza su njegove glavne komponente. Ove komponente rade zajedno kako bi dovršili postupak pripreme za prevlačenje.
