Vakuum ion ploča često treba koristiti masovni spektrometar za kontrolu procesa prevlačenja, a ciklotronski mase spektrometar je vrsta spektrometra masene energije. Zasnovan je na pojavu od rezonancije ciklotrona iona u ortogonalnom visokofrekventnom električnom polju i DC magnetskom polju kao svoj princip rada. Njegov osnovni princip predložio je Gipple i sur. 1949. 1951. Thomas i sur. prvo razvio masovni spektrometar. 1954. Alpert i dr. Razvio je jednostavan ciklotronski mase spektrometar koji se može koristiti za analizu preostalog plina pod ultra visokim vakuumom, što je uvelike promovirao razvoj ultra-visoke vakuum tehnologije. Klopfer je 1960. razvio složen ciklotron masovni spektrometar koji može ukloniti utjecaj naboj ne-rezonantne ionskog prostora. Osjetljivost masovnog spektrometra može ostati nepromijenjena u roku od 10%, što je moguće kvantitativne analize. Međutim, ima nedostatke teške prilagodbe parametara, složene strukture i teško je u potpunosti dege unutarnje elektrode.
Budući da se analizator i jon izvor širi ciklotron mase spektrometra koektiviraju u malom prostoru, električno polje će poremetiti ne-rezonantne jone. Stoga, kako bi se prevladalo distorziju električnog polja uzrokovano nerezonskim joni, razvijen je složeni ciklotron maseni spektrometar cijevi na temelju jednostavnog ciklotronskog masenog spektrometra, a njegove performanse je stabilnije od jednostavnog ciklotronskog masenog spektrometra.
Glavni parametri masovnog spektrometra su: Konstantna frekvencija osetljivosti, maksimalni radijus da se ne rezonantne ioni mase m + △ m mogu doći, rezoluciju, konačna energija rezonantnih jona, vremena rezonantnih jona, i broj ciklotrona od rezonantnih iona.
Njegove prednosti i nedostaci su:
1. Prednosti: manje dijelova, tankih elektroda, male veličine, manje izdvajanja i gotovo da "memorijski efekt", itd., Posebno pogodan za preostale analizu plina ultra-visokim vakuumskim malim jačinom.
2. Nedostaci: neugodna operacija, nelinearan masovni standard, magnetno polje, kompleksno automatsko snimanje spektralnih linija i nemogućnost korištenja elektronskog multiplikatora za otkrivanje, što ograničava minimalni pritisak.
1960. godine, fakultet u Chengdu, moja zemlja je prvi put uspješno razvio ciklotron masež spektrometar; 1963. Institut za elektroniku Kineske akademije nauka proveo je detaljno istraživanje o radnoj karakteristikama jednostavnog ciklotron masenog spektrometra; 1965., Lanzhou Institut za fiziku Kineske akademije nauka razvila je set jednostavne opreme za širok spektrometar ciklotron sa kvantitativnom tačnošću od 20%, postavljajući temelj za kasnije istraživanje i razvoj masovnih spektrometa za ionske mašine za oblaganje.
