1. Osnovna struktura mašine za vakuumski premaz
Mašina za vakuumski premaz je uređaj koji depozituje tankog filma na površini supstrata fizičkim ili hemijskim metodama pod vakuum okruženjem. Njegova jezgrana struktura uključuje sljedeće dijelove:
1. Vakuumski sustav: Sastoji se od mehaničke pumpe, molekularne pumpe, difuzijske pumpe itd., Koji se koristi za pumpanje komore za oblaganje u visoko vakuumsko okruženje od 10⁻³ ~ 10⁻⁶ PA (pogledajte "Priručnik za vakuumsko prevlačenje"). Na primjer, mehanička pumpa može smanjiti pritisak na 1 ~ 10 PA, a molekularna pumpa može ga dalje smanjiti na ispod 10⁻⁴ PA.
2. Komora za premazivanje: Glavno tijelo je šupljina od nehrđajućeg čelika koja je otporna na koroziju i ima snažno brtvljenje. Veličina se kreće od 0,5 m³ za male laboratorije na 5 m³ za industrijski razred (kao što su ULVAC-ov model ARL-300).
3. Izvor isparavanja: Odaberite otpor Grijanje, elektron snopa ili izvor magnetrona prema zahtjevima procesa. Na primjer, snaga evaporativnog isparavanja elektronskog snopa može dostići 10 kW, a stopa isparavanja je oko 1 ~ 5 nm / s.
2. Razlike u sastavu različitih vrsta savlaka za oblaganje
1. Oprema za fizički pare (PVD):
- Magnetron Spasing Clating mašine moraju biti opremljeni ciljnim materijalima (poput titanijumskih ciljeva, aluminijskih ciljeva) i magnetskim terenskim sustavima, a radni gas je obično 0,1 ~ 10 pa.
- ARC ION mašine za oblaganje Dodajte izvore luka, struja može dostići 100 ~ 200 A, a filmska adhezija je jača.
2. Oprema za hemijsku paru (CVD):
- Treba uvesti reaktivne gasove (poput Sih₄, Ch₄), a opremljen je sustav kontrole toka plina, s tačnošću ± 1 SCCM (standardni mililitnici / minut).
3. Pomoćni sistemi i ključni tehnički parametri
1. Kontrolni sistem: PLC ili industrijsko računalo koristi se za praćenje vakuuma, temperature (± 1 stepena tačnosti) i debljine filma (mereno kvarcnom kristalnom oscilacijom, tačnosti ± 0,1 nm) u stvarnom vremenu.
2. Sustav hlađenja: Protok dizajna protoka vodenog rashladnog cjevovoda obično je 20 ~ 50 l / min da bi se osigurala dugoročna stabilnost operacije opreme.
IV. Scenariji aplikacija i preporuke za odabir
1. Optički premaz: zahtijeva visoku ujednačenost (± 1% odstupanje debljine) i treba odabrati više-pušljiv izvor isparavanja elektrona.
2. Premaz alata: Fokusira se na tvrdoću (kao što je limenki premaz može dostići 2000 HV), a poželjna je oprema za oblaganje luka.
Kroz gornju analizu korisnici mogu odabrati odgovarajući premaz tipa i konfiguraciju stroja prema stvarnim potrebama (poput performansi filmova, proizvodnu efikasnost).
