Tijek rada optičkog prevlačenja obično uključuje sljedeće glavne korake: Prekinu, premaz, nadgledanje filmova i podešavanje, hlađenje i uklanjanje. Specifični proces može varirati ovisno o vrsti opreme (poput stroja za isparavanje, stroj za isparavanje, itd.) I proces premaza (kao što su jednoslojni film, višeslojni film, itd.), Ali općenito, proces optičkog premaza:
1. Faza pripreme
Čišćenje i priprema optičkih komponenti:
Prije oblaganja, optičke komponente (poput sočiva, filtera, optičkog stakla itd.) Trebaju se temeljito očistiti. Ovaj korak je osnova za osiguranje kvaliteta premaza. Uobičajene metode čišćenja uključuju ultrazvučno čišćenje, čišćenje kiselina, čišćenje pare itd.
Očišćene optičke komponente obično se postavljaju na rotirajuće uređaju ili steznu sustav mašine za oblaganje kako bi se osiguralo da mogu ostati stabilni tokom procesa premaza.
Pretpostavljanje vakuumske komore:
Prije postavljanja optičkih komponenti u mašinu za oblaganje, komora za premazivanje treba evakuirati u određeni vakuumski stupanj. Vakuum okruženje može učinkovito ukloniti nečistoće, kisik i vodenu paru u zraku, spriječiti ih da reagiraju sa materijalom premaza i osiguravaju čistoću i kvalitetu filma.
Obično, komora za premazivanje mora dostići visoki vakuum (10⁻⁵ do 10⁻⁶ PA) ili srednje vakuum (10⁻³ do 10⁻⁴ PA).
2. Proces premaza
Početak premaza Izvor:
Izvor premaza obično usvaja izvor isparavanja ili izvor za pljusak. Različiti izvori premaza bit će odabrani prema različitim procesima premaza i materijalima.
Izvor isparavanja: Koristite grijaću opremu (kao što su evapatoratora za grijanje ili isparivač otpornosti) za zagrijavanje materijala za oblaganje u stanje isparavanja, tako da njegovi molekuli ili atomi isparavaju i polože na površinu optičkog elementa u vakuumu.
Izvor za prskanje: primjenom visokog napona kako bi se ciljni materijal sudarao sa jonima, atomima ili molekulama ciljanog materijala, a ovi atomi ili molekuli se deponuju na površini optičkog elementa da formiraju tanki film.
Taloviti tanjivo filma:
U vakuumnom okruženju materijal za oblaganje ispari ili otpada iz izvora (kao što su izvor isparavanja ili ciljanog materijala) i postepeno naslagite na površini optičkog elementa.
Stopa odlaganja i debljina filma potrebno je precizno kontrolirati kako bi se osiguralo da je filmski sloj ujednačen, neprekidan i ispunjava dizajnerski zahtjevi. Parametri za vrijeme postupka taloženja (kao što su struja, protok, temperatura itd.) Izravno utjecati na kvalitetu filma.
Tankog filma za nadgledanje i kontrola debljine:
Tokom procesa premaza debljina i kvaliteta filma obično se prate u stvarnom vremenu. Najčešće korišteni alati za praćenje uključuju senzore poput ** kvarcne kristalne mikrobalance (qcm) **, što može precizno otkriti stopu talože i debljine filma.
Na osnovu ovih podataka praćenja, sustav može automatski prilagoditi parametre poput snage izvora premaza, protoka plina ili brzinu vrtnje komponente kako bi se održalo konzistentnost i ujednačenost filmskog sloja.
Višeslojni film (ako je potrebno):
Za optičke komponente za koje je potrebna višeslojna filmska struktura, proces premaza obično se vrši sloj po sloju. Nakon što se svaki sloj filma deponira, sustav će obavljati ponovljenu debljinu debljine filma i prilagođavanje kako bi se osiguralo da kvaliteta svakog sloja ispunjava zahtjeve za dizajn.
Ovaj proces zahtijeva preciznu kontrolu debljine i materijala svakog sloja kako bi se osiguralo da svaki sloj može funkcionirati unutar određenog raspona talasne dužine, kao što su refleksija, prijenos ili smetnje.
3. Hlađenje i uklanjanje
Hlađenje:
Nakon premaza, optičke komponente i stroj za oblaganje treba hladiti. Budući da oprema i komponente mogu postati vrući tokom procesa premaza, treba ih ohladiti na sobnu temperaturu kroz rashladni sustav (poput hlađenja ili protoka zraka) kako bi se spriječilo termičko oštećenje.
U nekim procesima prevlačenja visokog temperature hlađenje ne štiti samo optičke komponente, već omogućava i filmu da postigne optimalno prijanjanje i stabilnost.
Uklanjanje optičkih komponenti:
Nakon hlađenja, optičke komponente mogu se ukloniti iz stroja za oblaganje.
Prije uklanjanja, efekt premaza treba provjeriti, uključujući uniformnost, debljinu, adheziju itd. Filmskog sloja kako bi se osiguralo da kvaliteta premaza ispunjava zahtjeve.
4. Post-tretman (neobavezno)
Filmsko očvršćivanje:
Ponekad film nakon prevlačenja treba otvrditi za poboljšanje otpornosti na ogrebotine i trajnost filma. To se obično vrši terpojnom obradom ili ultraljubičastom zračenjem.
Čišćenje filma:
Da bi se uklonili zagađivači, mast ili druge nečistoće na površini filma, može biti potrebno malo čišćenje, poput pranja, ultrazvučnog tretmana itd.
5. Inspekcija kvaliteta i testiranje kvaliteta
Test optičkog performansi: Nakon prevlačenja, na optičkim komponentama vrši se niz testova performansi, uključujući predajnu, reflektivnost, uniformnost filma itd. Da bi se osiguralo da ispunjavaju tehničke zahtjeve.
Ispitivanje adhezije: Provjerite je li adhezija između filma i supstrata čvrsto kroz test trake ili ogrebotine.
Test stabilnosti okoliša: Ponekad testovi stabilnosti pod okolišnim uvjetima kao što su temperatura, vlaga i ultraljubičasti zrake potrebni su za osiguranje pouzdanosti sloja premaza u stvarnim aplikacijama.
