Vertikalni mali magnetronski pucajući linijski premaz je napredna oprema koja postiže visokokvalitetni tanak tanak tanak film u kompaktnom prostoru. Posebno je pogodan za istraživanje i razvoj, malu i srednje veličinu serijsku proizvodnju i visoke proizvode sa dodanim vrijednostima.
Primjene:
Taloženje metalnih filmova kao što su nikl i bakar na površini stakla, keramike i ravnih proizvoda.
Značajke:
Vertikalna struktura
Visoko iskorištenje prostora:
Vijeće, vakuumski sistem, mehanizam prijenosa itd.
Manje kontaminacija čestica
Gravitacija olakšava česticama generirane tijekom procesa da padnu na dnu i manje je vjerovatno da će se pridržavati površine podloge, što pomaže u dobivanju čistijeg filma.
Fleksibilna opterećenja opterećenja:
Obično se koristi viseća korpa, ladica ili rotirajuća stalak za supstrat, što olakšava istovremeno premazivanje više komada ili ujednačenog premaza.
Relativno pogodno održavanje:
Glavne komponente (poput ciljeva, nosača supstrata) obično se mogu održavati s prednje ili strane.
Minijatura
Niski troškovi ulaganja:
Troškovi kupovine opreme, instalacije i obnove biljaka (poput čistih prostorija, struje i vodenog hlađenja) znatno je niža od onih velikih industrijskih linija.
Niski operativni troškovi:
Brzo usisavanje (zapremina male komore), niska potrošnja plina i niska potrošnja električne energije.
Visoka fleksibilnost:
Jednostavno je zamijeniti ciljni materijal, podesite parametre procesa i brzo prebacivanje između različitih zadataka premaza. Vrlo je pogodan za višestruke, malu paket proizvodnju ili probnu proizvodnju istraživanja i istraživanja.
Lako se integrirati i nadograditi:
Može se lako integrirati u postojeće eksperimentalne linije ili mala proizvodna okruženja, a također je lakše proširiti funkcije.
Tehnologija magnetrona
Visoka brzina taloženja:
Magnetno polje veže elektrone i poboljšava jonizacijsku efikasnost, što rezultira većim brzinama prskanja i taloženja.
Dobar kvalitet filma:
Može proizvesti guste, uniforme i visoko ljepljive filmove metala, legura, oksida, nitrida, karbida itd.
Dobra kontrola procesa:
Tačno kontrolirajući parametre kao što su pritisak plina, omjer snage, plina (reaktivno prskanje), supstrat pristranosti itd., Sastav, struktura, debljina i performanse filma mogu se fino kontrolirati.
Vakuumski premaz
Čisto okruženje:
Izvodi se u visokoj vakuum okruženju kako bi se izbjeglo atmosferski zagađenje i osigurati čistoću i performanse filma.
Široko primenljivi materijali: gotovo svi čvrsti materijali (metali, poluvodiči, keramika, plastika itd.) Mogu se koristiti kao ciljevi ili podloge.
Popularni tagovi: Vertikalni magnetronski nosač za oblaganje, Kina Vertikalni magnetronski prskati proizvođači, dobavljači, tvornica
