Hej tamo! Kao dobavljač mašina za raspršivanje magnetrona, video sam dosta problema sa ovim sjajnim komadima opreme. U ovom blogu ću vas provesti kroz neke od uobičajenih kvarova na koje možete naići sa mašinom za raspršivanje magneta i šta možete učiniti u vezi s njima.
1. Loš kvalitet premaza
Jedan od najfrustrirajućih problema je kada kvaliteta premaza jednostavno nije na nivou. Možda ćete primijetiti neujednačenu debljinu, hrapave površine ili čak raslojavanje premaza. Postoji nekoliko razloga zašto bi se to moglo dogoditi.
Prvo, nepravilna razdaljina od podloge može pokvariti stvari. Ako je udaljenost prevelika, raspršene čestice gube energiju na putu do podloge, što dovodi do manje gustog i neravnomjernijeg premaza. S druge strane, ako je premala, plazma može biti nestabilna, uzrokujući lokalno pregrijavanje i grube premaze.
Drugi krivac bi mogao biti protok gasa. Ako je protok raspršenog plina (obično argona) nedosljedan ili nije na pravom nivou, to može uticati na gustinu plazme i način na koji se čestice raspršuju. Nizak protok plina može rezultirati plazmom male gustine, dok veliki protok može uzrokovati turbulenciju i neravnomjerno taloženje.
Kontaminacija je takođe velika stvar. Čak i male količine nečistoća u ciljnom materijalu, podlozi ili vakuumskoj komori mogu dovesti do loše kvalitete premaza. Čestice prašine, vlaga ili hemijski zagađivači mogu poremetiti proces prskanja i uzrokovati defekte u premazu.
2. Nestabilnost plazme
Plazma je srce procesa magnetronskog raspršivanja, a kada je nestabilna, u nevolji ste. Možda ćete vidjeti fluktuacije u intenzitetu plazme, ili bi se čak mogla potpuno ugasiti.
Jedan od razloga za nestabilnost plazme je prljav ili oštećen magnetron. Vremenom, raspršeni materijal se može nakupiti na magnetronu, utičući na njegovo magnetno polje i način na koji se formira plazma. Ako je magnetron fizički oštećen, kao što je napuknut keramički izolator, to također može uzrokovati probleme s plazmom.
Napajanje također može igrati ulogu. Ako izlazna snaga nije stabilna, to može dovesti do fluktuacija u plazmi. Neispravno napajanje može imati skokove ili padove napona, što može poremetiti plazmu i utjecati na proces raspršivanja.
Nivo vakuuma u komori je takođe ključan. Ako vakuum nije dovoljno dobar, u komori će biti više molekula gasa. Ovi molekuli se mogu sudarati sa raspršenim česticama i plazmom, uzrokujući nestabilnost. Curenje u vakuumskom sistemu takođe može dovesti do smanjenja nivoa vakuuma tokom vremena.
3. Ciljna pitanja erozije
Mete su ključna komponenta mašine za raspršivanje magnetrona, a način na koji one erodiraju može imati veliki uticaj na performanse. Neravnomjerna erozija cilja je čest problem.
Ovo se obično dešava kada distribucija magnetnog polja u magnetronu nije ujednačena. Područja sa jačim magnetnim poljem će imati intenzivnije prskanje, što će dovesti do brže erozije na tim mjestima. Kako meta erodira neravnomjerno, debljina i kvalitet premaza mogu postati nedosljedni.
Još jedno pitanje vezano za eroziju cilja je trovanje cilja. Ako se reaktivni plinovi koriste u procesu raspršivanja (na primjer, kisik ili dušik za formiranje oksidnih ili nitridnih prevlaka), oni mogu reagirati s ciljnom površinom i formirati spojeve. Ova jedinjenja mogu promijeniti brzinu raspršivanja i svojstva raspršenih čestica, što dovodi do problema sa premazom.
4. Kvarovi sistema hlađenja
Magnetronske mašine za raspršivanje generišu mnogo toplote, a sistem hlađenja je neophodan da sve radi nesmetano. Ako sistem hlađenja pokvari, to može uzrokovati čitav niz problema.
Jedan uobičajeni problem je začepljen vod za hlađenje. Tokom vremena, krhotine, hrđa ili kamenac se mogu nakupiti u rashladnim linijama, ograničavajući protok rashladne tekućine. To može dovesti do pregrijavanja magnetrona i drugih komponenti, što ih može oštetiti i utjecati na performanse stroja.
Sama rashladna tečnost takođe može predstavljati problem. Ako je nivo rashladne tečnosti prenizak, neće biti dovoljno rashladnog kapaciteta. A ako je rashladna tečnost kontaminirana ili ima pogrešna svojstva (kao što je netačan pH ili provodljivost), može korodirati komponente rashladnog sistema i uzrokovati curenje.
5. Električni problemi
Problemi sa strujom su uvijek glavobolja. Neispravno ožičenje može uzrokovati kratke spojeve, koji mogu oštetiti stroj, pa čak i predstavljati opasnost po sigurnost. Labave veze mogu dovesti do povremenih problema sa napajanjem, što utiče na stabilnost plazme i proces raspršivanja.
Kontrolna tabla je još jedno područje gdje se mogu pojaviti električni problemi. Neispravnosti na kontrolnoj tabli mogu dovesti do pogrešnih podešavanja na mašini. Na primjer, ako postavke temperature ili snage nisu točne, to može utjecati na kvalitetu premaza i ukupne performanse stroja.
Rješenja i šta možemo ponuditi
Sada kada smo prošli kroz uobičajene kvarove, hajde da pričamo o rešenjima. Za lošu kvalitetu premaza, obavezno temeljito očistite metu i podlogu prije svake upotrebe. Provjerite i podesite ciljnu udaljenost od podloge i brzinu protoka plina prema specifikacijama.
Da biste se suočili s nestabilnošću plazme, redovno čistite magnetron i provjeravajte da li ima problema sa napajanjem. Uvjerite se da vakuumski sistem ne propušta i da se održava nivo vakuuma.
Za probleme ciljane erozije, možete pokušati optimizirati distribuciju magnetnog polja u magnetronu. A ako je trovanje cilja problem, pažljivo prilagodite brzinu protoka reaktivnog plina.
Kada dođe do kvarova sistema hlađenja, redovno čistite rashladne vodove i pratite nivo i kvalitet rashladne tečnosti. A u slučaju električnih problema, neka profesionalni električar povremeno provjeri ožičenje i kontrolnu ploču.
Kao dobavljač mašina za raspršivanje magneta, nudimo visokokvalitetne mašine sa pouzdanim komponentama. Pružamo i podršku nakon prodaje, uključujući usluge održavanja i rezervne dijelove. Ako se suočite s bilo kojim od ovih problema sa vašom trenutnom mašinom, ili ako želite da kupite novu, mi smo tu da vam pomognemo.
U našoj liniji proizvoda imamo i druge vrste mašina za vakuumsko premazivanje. Na primjer, theVišelučna ionska vakuumska mašina za premazivanjeodličan je za aplikacije koje zahtijevaju visokokvalitetno i brzo premazivanje. TheMašina za vakuumsko premazivanje otpornosti na isparavanjepogodan je za nanošenje tankih filmova sa relativno jednostavnim materijalima. I theMašina za vakuumsko nanošenje EMI zaštitesavršen je za aplikacije gdje je potrebna zaštita od elektromagnetnih smetnji.
Ako ste zainteresirani za bilo koji od naših proizvoda ili trebate više informacija o rješavanju problema s kvarovima Magnetron Sputtering Machines, slobodno nam se obratite. Uvijek nam je drago da razgovaramo i razgovaramo o vašim specifičnim potrebama.
Reference
- "Priručnik za procese i tehnologije taloženja tankog filma"
- "Tehnologija vakuumskog premaza"
- Industrijski specifični istraživački radovi o magnetronskom raspršivanju i vakuumskom premazivanju
